广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区，专注于腐蚀面板加工，腐蚀面板定制，机械控制面板定做，不锈钢蚀刻面板加工，机械面板腐蚀定制，设备蚀刻面板加工，腐蚀机械面板定制，机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等，接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地，均可加工定制生产。运转定时：对试验时间进行实时设定，试验时间到达设定值，设备停止运转。产品还有腐蚀标牌，不锈钢直尺加工、铝铭牌制作、不锈钢铭牌制作、机械设备控制面板、亚克力标牌等。制作工艺：UV印刷、喷漆、丝印、热转印、凹凸，冲压、磨光、拉丝、电镀、氧化、喷砂、激光、注塑、磨光、电铸、腐蚀等一体化的大型专业标牌加工制作厂。

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本实用新型涉及干法刻蚀技术，特别涉及一种干法刻蚀设备。

技术背景 图I为现有干法刻蚀设备的结构示意图，如图I所示，干法刻蚀设备包括反应腔(Chamber) 5,设置于反应腔(Chamber) 5上的垫板4、以及设置于反应腔(Chamber) 5中的挡光板I。相比之下，干蚀刻异向性强，线宽稳定性易于控制，缺点为机台设备及维护费用高，量产速度慢。现有的干法刻蚀设备在对玻璃(Glass)基板进行刻蚀的工艺中，由于设备的上部电极结构复杂以及设备老化等原因，经常会出现垫板4断裂以及其他零部件损坏而导致反应腔(Chamber) 5真空泄露(Leak)的现象，由此，大气会进入反应腔(Chamber) 5内部,大气中的氮气等与反应腔(Chamber) 5内的气体混合,混合后气体颜色会由蓝色变成红色或黄色，出现颜色异常。现有结构无法对等离子体(Plasma)颜色进行监控，导致在后工序才能发现，这会严重影响良品率。

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在集成电路制造工艺中,刻蚀是用化学或物理方法有选择地从硅表面去除不需要的材料,在硅片上所需图形的后图形转移的工艺步骤。干法蚀刻和湿法蚀刻是半导体制造中两种基本的刻蚀工艺。在此基础上,探讨钢桥面板Zui适宜的粗糙度及Zuix优的防腐材料和铺装方式。干法蚀刻各向异性可以实现细微图形的转换,满足越来越小的尺寸要求,已成为亚微米及以下尺寸主要的蚀刻方式。在实际生产中,公司追求产能和良率。就二氧化硅的干法蚀刻而言,需要优化诸如蚀刻速率、均匀性、选择比等蚀刻参数。因在蚀刻过程中,刻蚀的理想条件经常漂移,工艺工程师不仅需设定优化蚀刻效果的蚀刻菜单,还需在理想条件漂移时及时做出调整。本文选取了影响蚀刻效果的主要工艺参数,如射频、压力、蚀刻气体等做正交试验,确定其具体的影响程度,为参数设置和调节提供依据。

广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区，专注于腐蚀面板加工，腐蚀面板定制，不锈钢面板加工，铝面板加工，机械控制面板定做，不锈钢蚀刻面板加工，机械面板腐蚀定制，设备蚀刻面板加工，腐蚀机械面板定制，机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等，接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地，均可加工定制生产。一种耐酸气体腐蚀的玻璃钢墙面板，其特征在于：由无碱短纤维毡、乙烯基树脂、固化剂、促进剂、抗老化剂、抗紫外线剂混合热成型。

为什么要浸渗：自从1950年以来，浸渗就作为一种处里气孔的方法而被广泛使用，在微孔密封技术领域，相对于5mm铸件壁厚，我们将直径在0.254mm 以下的孔称之为微孔。Plasma在干蚀刻中的应用在高周波电场中电子被来回加速，加速后的电子轰击气体分子或原子，使分子或粒子解离出新的电子(α作用)而产生Ion，或者使分子解离为高活性的自由基。这些孔通常用肉眼是难以发现的。在汽车动力系统及气动液压系统铸件中，微孔的存在将导致被密封介质的浸漏，增加机加工刀具的磨损，同时带来生产成本的增加，使产品的质量难以得到保证。将在产品的使用过程中，令其丧失应有的功能。当前国内外许多厂家将浸渗技术被确认为一项必不可少的工序。

广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区，专注于腐蚀面板加工，腐蚀面板定制，不锈钢面板加工，腐蚀面板加工，机械控制面板定做，不锈钢蚀刻面板加工，机械面板腐蚀定制，设备蚀刻面板加工，腐蚀机械面板定制，机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等，接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地，均可加工定制生产。蚀刻液或纯水通过喷淋装置均匀喷洒在蚀刻产品表面上，并形成密集的瀑布蚀刻流，对蚀刻产品进行清洗和双面瀑布流式蚀刻作业。

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腐蚀

确认模具可以腐蚀后，型腔四周用双面不干胶纸和聚绿乙烯塑料布贴围三层，形成腐蚀保护围裙，比模具长出400～600mm。腐蚀机采用喷嘴式球形喷头，半个球体均布19个喷嘴，可均匀立体喷射。

用电动葫芦吊挂模具，型腔朝下，喷头朝上并处于保护围裙中心，两人扶住模具缓慢旋转，开动腐蚀机，用秒表计时，腐蚀7～10min，夏天取下限，冬天取上限。

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广州市茂美标牌加工厂,座落于番禺区桥南街陈涌工业区，专注于腐蚀面板加工，腐蚀面板定制，不锈钢面板加工，腐蚀面板加工，机械控制面板定做，不锈钢蚀刻面板加工，机械面板腐蚀定制，设备蚀刻面板加工，腐蚀机械面板定制，机箱设备面板定制、电子秤按键面板定做等，接单领域主要集中在广州、深圳 、佛山 、东莞、中山、珠海、江门、肇庆、惠州等地，均可加工定制生产。合成航空润滑油(如国产长城一坪生产的4106号润滑油)是一种既可用在燃气轮机(喷气发动机)，又可用在传动装置上的酯类油。

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照相制版

采用CR或SO软片，1：1对底图进行拍摄。照相底片大小以100mm×200mm左右为宜，便于制丝网版和贴花转印。

制丝网版

用200～300目黄色涤纶丝绢，0.02mm厚的蓝色感光膜，铝质框架和照相底片，按制造印刷线路丝网版的方法制造。

油墨调配

选取固体沥青500g，装入清洁无锈铁罐，加煤油300ml，放在可调温电炉上熬炼1～2h，控制微沸状态，适当搅拌，炼至适合丝网印刷的稠度，以冷却至室温为软冻状，表面又不结皮不起皱为佳，此为沥青油墨。

沥青油墨和2711—4油墨(天津油墨厂产品)，按重量比1：1混合，再加入牡丹牌No78燥油，用量为混合油墨重量的2%～5%，用油墨刀调匀，便制得抗蚀转印油墨。